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超純水處理

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超純水處理

  • 所屬分類:設備

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  • 發布日期:2017/06/30
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詳細介紹

廢水類型:超純水處理

 

超純水處理 

 

廢水危害:最近幾年超大規模集成電路的生產有了快速發展,對超純水的水質提出了更高的要求,超純水中所含雜質的允許含量越來越低,同時需要控製的雜質種類也越來越多。為了有效去除各種雜質,需要各種處理手段的綜合運用。


通常我們超純水係統分為三部分:預處理,初級處理和拋光精製處理。

1.預處理係統通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成;

2.初步處理係統主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成

3.精製處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。

 

基本流程圖:

超純水廢水處理


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